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集成電路的ESD保護

概述

靜電放電(ESD)會對集成電路(IC)造成破壞性的能量沖擊,良好的IC設計能夠在IC裝配到應用電路的過程中保護IC免遭ESD沖擊的破壞。安裝后,IC還必須能夠承受ESD穿過靜電防護電路進入最終電路的沖擊。除此之外,機械防護、電源去耦電容都有助于提高ESD保護能力,但是,如果電容選擇不當將會造成IC更容易損壞。為了給IC提供合理的ESD保護,需要考慮以下內(nèi)容。

· 沖擊ICESD傳遞模式

· 內(nèi)部ESD保護

· 應用電路與IC內(nèi)部ESD保護的相互配合

· 修改應用電路提高ICESD保護能力

ESD傳遞模式

靜電放電強度以電壓形式表示,該電壓由電容的儲能電荷產(chǎn)生,最終傳遞到IC。作用到IC的電壓和電流強度與ICESD源之間的阻抗有關。對電荷來源進行評估后建立了ESD測試模型。

ESD測試中一般使用兩種充電模式(1),人體模式(HBM)下將電荷儲存在人體內(nèi)(100pF等效電容),通過人體皮膚放電(1.5kΩ等效電阻)。機器模式(MM)下將電荷儲存在金屬物體,機器模式中的放電只受內(nèi)部連接電感的限制。


1. ESD測試模型

以下概念對于評估ESDIC的傳遞非常有用:

1. 電壓高于標稱電源電壓時,IC阻抗較低。



對于圖1中的HBM模式:ZS = ZHBM = 1.5kΩ

2. MM模式下,電流受特征阻抗(50Ω)的限制。



上述特征阻抗的計算可以從低阻L-C電路的能量(E)推導出來:


3. 如果ESD電流主要流入電源去耦電容,IC電壓由儲存的電荷量決定:

Q = C x VQFinal = QInitial
V1 x (C0 + C1) = VESD x C0 (見圖1)

4. 能夠在瞬間導致IC損壞的能量相當于微焦級,有外部電源去耦電容時,考慮這一點非常重要,圖1中從電源電容(C1)傳遞到IC的能量是:


5. 耗散功率(P)會產(chǎn)生一定熱量,假設能量經(jīng)過一段較長的時間(t)釋放掉,熱量將隨之降低:

ESD能量傳遞到低阻電路時需要考慮其電流(上述第1、2);對于高阻而言,能量以電壓形式通過電荷轉(zhuǎn)移傳遞到電源去耦電容和寄生電容(3)。對IC造成損壞的典型能量是在不到一個毫秒的時間內(nèi)將微焦級能量釋放到IC (4、5)。

IC內(nèi)部保護電路

標準保護方案是限制到達IC核心電路的電壓和電流。圖1所示保護器件包括:

· ESD二極管在信號引腳與電源或地之間提供一個低阻通道,與極性有關。

· 電源箝位連接在電源之間,正常供電條件下不汲取電流,出現(xiàn)ESD沖擊時呈低阻。

ESD二極管
如果對IC引腳進行HBM測試,測試電路的初始電壓是2kV,通過ESD二極管的電流約為1.33A (2)




2. ESD二極管的電流和電壓(測量數(shù)據(jù))

理論上,進行HBM測試時引腳電壓受限于二極管壓降。大電流會在ESD二極管和引線上產(chǎn)生I-R壓降,在信號引腳產(chǎn)生額外的電壓,如圖2所示。

為了確定IC是否能夠承受2kVESD沖擊,需要參考廠商提供的資料。IC的額定電壓由最大電壓決定,圖1中的VESD,這是IC能夠承受的一種特定的ESD源。Maxim IC所能承受的ESD指標在可靠性報告中可以查找到。

電源箝位
雙極型IC的箝位電路類似于在受保護核電路中提供一個受沖擊時擊穿的部件,3給出了圖1中箝位功能的詳細電路。箝位晶體管的過壓導致集電極-基極之間的雪崩電流,發(fā)射結(jié)的正向偏置會進一步提高集電極電流,導致一個突變過程。箝位時的V-I特性曲線如4所示。


3. 1中的箝位電路


4. V-I箝位特性

箝位二極管在IC其它電路遭到破壞之前導通,箝位管要有足夠的承受力,保證ESD電流不會導致二次擊穿。2kV HBM測試的箝位過程如5所示,圖5中的電壓包括I-R壓降和突變穩(wěn)定后的箝位電壓。


5. 箝位工作過程(測量數(shù)據(jù))

ESD保護與應用電路

箝位電壓從第一次擊穿變化到突變穩(wěn)定后的導通電壓,如圖5所示。為保證箝位時關閉正常的工作條件,設計的箝位電壓一般要略高于IC的絕對最大電壓。

電源去耦電容會影響箝位操作,傳遞到去耦電容的電荷會產(chǎn)生高于IC絕對最大值的電壓,但還不足以使箝位電路導通。這時的電容相當于一個能源,迅速向器件注入能量。

對于一個給定的去耦電容,ESD測試中初始電壓的變化遵循電荷守恒原理。例如,使用一個0.01µF去耦電容,2kV HBM測試電壓可以達到20V








6. 能量和電壓與電源耦合電容的關系

被保護引腳電容上的能量如6所示,對小的去耦電容,箝位二極管通過進入突變穩(wěn)定模式限制電壓(V1)。突變穩(wěn)定后的電壓所產(chǎn)生的能量近似地隨著電容的增大而成比例增大。電源去耦電容增大到一定程度后,電荷傳輸不會產(chǎn)生導致箝位電路擊穿的電壓。

箝位電壓高于IC所能承受的電壓(典型值6V),低于二極管的擊穿電壓(10V)時,對于存在去耦電容的情況,因為電容儲能可能導致某些問題。如果IC在沒有外部電路的情況下進行測試,引腳上作用10V電壓是可以接受的,對器件不會構(gòu)成威脅。

改善ESD保護

合理選擇去耦電容的大小有助于在電路中提高IC的保護,降低電容儲能,使ESD電荷不會產(chǎn)生擊穿箝位電路的電壓。我們可以考慮圖1C1>>C0的情況:

最初:



C1加倍,則會導致:



電容加倍,能量降低一倍。

對于小尺寸高速雙極型IC,HBM測試中吸收的最大能量是1µJ;2kV人體模式下,如果電容小于0.02µF (6), 箝位二極管會產(chǎn)生動作。為了使去耦電容的能量低于1µJ,去耦電容有兩種選擇:要么容值大于0.05µF,要么小于0.005µF。當使用更高的測試電壓時,要按比例增大0.05µF電容的尺寸。

實際應用中,通常不允許使用更大的去耦電容。浪涌電流的要求會限制電容尺寸。如果不控制電壓擺率,唯一限制浪涌電流的途徑就是限制去耦電容的尺寸:



去耦電容與電源間的引線總是存在一定量的電感,通常也會接入一個濾波電感。這種配置下,最大浪涌電流取決于濾波電感與去耦電容的特征阻抗,這個阻抗(7中的Zo)類似于MM測試中的電流限制。


7. C1較大時的電源阻抗

通過限制浪涌電流,可以使用較大的濾波電容(C1);發(fā)生ESD沖擊時,使得作用在IC上的電壓低于器件允許的最大額定電壓。

改善ESD保護的有效途徑有:

· 使用更大的濾波電容,使最大ESD電壓低于IC引腳所能承受的絕對最大電壓。

· 使用小的濾波電容,使得箝位二極管在低能量時提供保護。

· 增大串聯(lián)電感限制大電容產(chǎn)生的浪涌電流。

· 增加外部箝位二極管,如8所示的齊納二極管,使ESD電壓低于器件所能承受的絕對最大電壓(9)。


8. 齊納ESD保護二極管 


9. 利用齊納保護二極管改善箝位(測量數(shù)據(jù))

結(jié)論

IC及其周邊元件需要承受突破應用電路鏡電防護層的ESD能量,電源的去耦電容可能是降低作用到IC上的ESD強度的一條低成本解決途徑,諸多設計因素會影響ESD性能,具體可以歸納為:

1. 確定應用場合的測試電壓(VESD),典型值為2kVHBM100V MM模式。

2. 檢查IC的可靠性報告,確認二極管、鉗位二極管和傳導路徑適合的測試電壓。Maxim的可靠性報告中提供了IC的相關信息。

3. 當使用外部電容,如電源濾波電容(C1)時,需檢查其產(chǎn)生的電壓,這個電壓最終作用到IC上。

4. 如果出現(xiàn)ESD沖擊時,電壓介于IC的最大額定電壓(典型值為6V)與擊穿電壓(典型值在8V10V),可以考慮使用較大尺寸的電容來替代電源濾波的方案。


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